Kriterijumi revizije usklađenosti su uporedni parametri koji se koriste za dosljedno i razumno ocjenjivanje i mjerenje predmeta revizije, a revizor ih utvrđuje na osnovu odgovarajućih mjerodavnih propisa. Da bi bili primjereni, kriterijumi revizije usklađenosti moraju biti: relevantni, pouzdani, potpuni, objektivni, razumljivi, uporedivi, prihvatljivi i dostupni. Revizija usklađenosti se uglavnom sastoji od ocjene usklađenosti sa službenim kriterijumima, kao što su pozitivno zakonodavstvo, propisi doneseni na osnovu okvirnog zakonodavstva te drugi mjerodavni zakoni, propisi i sporazumi, uključujući zakone i odluke o budžetu (pravilnost). Kada formalnih, službenih kriterijuma nema ili kada u zakonodavstvu postoji očiti nedostaci u pogledu njegove primjene, revizijom može da se ispita i usklađenost s opštim principima kojima se rukovodi dobro finansijsko upravljanje i postupanje javnih zvaničnika (primjerenost).