Svaka revizija je proces i kao takva može se podijeliti na nekoliko ključnih faza. Uobičajeno za finansijsku reviziju i reviziju usklađenosti to su faze: prihvatanja revizije ili dogovaranja revizijskog angažmana (što je u reviziji javnog sektora uglavnom definisano zakonskim mandatom), zatim faza planiranja, faza provođenja revizijskih postupaka, faza procjene rezultata i sačinjavanje izvještaja o reviziji i faza naknadnog praćenja (tzv. follow up). Slično tome, i proces revizije učinka podrazumijeva nekoliko ključnih faza :

⦁ Planiranje revizije / predstudija, je faza koja rezultira Odlukom o provođenju glavne studije ili Memorandumom o odustajanju od glavne studije;

⦁ Provođenje revizije / glavna studija – prikupljanje i analiza podataka i informacija;

⦁ Izvještavanje / rezultat revizije, zaključci u vezi sa pitanjima revizije, preporuke, izvještaj za korisnike;

⦁ Praćenje / Follow Up, utvrditi da li su preduzete aktivnosti u skladu sa preporukama i nalazima koji će korigovati prethodno stanje.

Osnov za otpočinjanje procesa svake pojedinačne revizije je strateško i godišnje planiranje na nivou VRI.