Prema ISSAI, revizori učinka treba da identifikuju i definišu prikladne kriterijume revizije koji su saglasni sa ciljevima revizije i revizijskim pitanjima i povezani sa principima ekonomičnosti, efikasnosti i efektivnosti. Kriterijumi revizije su razumni standardi učinka naspram kojih je moguće izmjeriti ekonomičnost, efikasnost i efektivnost. Stvarno stanje određenog projekta, programa ili procesa koje je utvrdio revizor potrebno je uporediti sa određenim razumnim standardom učinka odnosno sa određenim kriterijumom revizije učinka koji predstavlja mjerilo kakvo bi stanje trebalo da bude. Upoređivanjem stvarnog stanja sa stanjem kakvo bi ono trebalo da bude (kriterijumi revizije) dolazi se do nalaza revizije učinka.
Kriterijumi revizije mogu po prirodi biti kvalitativni ili kvantitativni, utvrđeni kao mjerilo u odnosu na šta će predmet revizije biti procijenjen.
Kriterijumi predstavljaju osnovu za evaluaciju revizijskih dokaza i pripremu nalaza revizije kao i donošenje zaključaka u vezi sa ciljevima revizije. Kriterijumi revizije učinka mogu biti uopšteni i opšte prihvaćeni ili specifični (šta bi trebalo biti u skladu sa zakonima, propisima ili ciljevima; što se očekuje u skladu s najboljom praksom ili opšte prihvaćenim principima ili što bi moglo biti kad bi bili bolji uslovi).
