Свака ревизија је процес и као таква може се подијелити на неколико кључних фаза. Уобичајено за финансијску ревизију и ревизију усклађености то су фазе: прихватања ревизије или договарања ревизијског ангажмана (што је у ревизији јавног сектора углавном дефинисано законским мандатом), затим фаза планирања, фаза провођења ревизијских поступака, фаза процјене резултата и сачињавање извјештаја о ревизији и фаза накнадног праћења (тзв. follow up). Слично томе, и процес ревизије учинка подразумијева неколико кључних фаза :
⦁ Планирање ревизије / предстудија, је фаза која резултира Одлуком о провођењу главне студије или Меморандумом о одустајању од главне студије;
⦁ Провођење ревизије / главна студија – прикупљање и анализа података и информација;
⦁ Извјештавање / резултат ревизије, закључци у вези са питањима ревизије, препоруке, извјештај за кориснике;
⦁ Праћење / Follow Up, утврдити да ли су предузете активности у складу са препорукама и налазима који ће кориговати претходно стање.
Основ за отпочињање процеса сваке појединачне ревизије је стратешко и годишње планирање на нивоу ВРИ.