Према ISSAI, ревизори учинка треба да идентификују и дефинишу прикладне критеријуме ревизије који су сагласни са циљевима ревизије и ревизијским питањима и повезани са принципима економичности, ефикасности и ефективности. Критеријуми ревизије су разумни стандарди учинка наспрам којих је могуће измјерити економичност, ефикасност и ефективност. Стварно стање одређеног пројекта, програма или процеса које је утврдио ревизор потребно је упоредити са одређеним разумним стандардом учинка односно са одређеним критеријумом ревизије учинка који представља мјерило какво би стање требало да буде. Упоређивањем стварног стања са стањем какво би оно требало да буде (критеријуми ревизије) долази се до налаза ревизије учинка.
Критеријуми ревизије могу по природи бити квалитативни или квантитативни, утврђени као мјерило у односу на шта ће предмет ревизије бити процијењен.
Критеријуми представљају основу за евалуацију ревизијских доказа и припрему налаза ревизије као и доношење закључака у вези са циљевима ревизије. Критеријуми ревизије учинка могу бити уопштени и опште прихваћени или специфични (шта би требало бити у складу са законима, прописима или циљевима; што се очекује у складу с најбољом праксом или опште прихваћеним принципима или што би могло бити кад би били бољи услови).
